硅烷流量计清洗

发布时间：  2013/4/8 10:47:49

硅烷流量计清洗：
               关闭硅烷气路的手动阀
               抽真空  取掉前硅烷输入 和  后硅烷输出电磁阀。
               拆出硅烷流量计，拆出得同时必须保持硅烷流量计的通讯线连接正常。
               设置硅烷流量计的流量
               用高压氮气冲洗流量计
蝶阀开度不正确，蝶阀学习的方法：
               查看工艺运行时氨气和硅烷最大气体流量的和，和工艺辉光时的最小压力。
               手动设置氮气流量（为硅烷和氨气和），手动设置压力（辉光时的最小压力）
               在系统设置里面点击"蝶阀自动学习按钮"，并在手动设置里面点击"关闭报警声音"  等待  当蝶阀上面显示"V100"时蝶阀已经学习完毕。
流量计校准
              从别的设备上面拆取一个流量计，安装好到此设备上，抽真空。压力设置10。流量设置为1000 稳定5-10分钟。 读取管内压力，把要校准的流量计安装在此设备上，同样压力设置为10。流量设置也为1000。查看管内压力。我们通过调流量计的调零按钮来调整流量计，使前后压力相同。
扩散拉恒温
               设置扩散温度 五点稳定分别为 850  850   850   850   850 、
               等五点温度达到插入恒温热偶一个小时后  检测1、3、5点的温度
               通过调pb值使得恒温热偶和检测热偶的温度一致。等1、3、5稳定再次稳定后我们把热偶拉出27.5cm来检测2、4点的管内温度。也通过调pb值使恒温热偶和检测热偶的温度一致。
               如果检测热偶和恒温热偶之间温度相差较大，我们通过调整检测热偶插入炉管的深度来调整两热偶的温度差。
               拉恒温时一定要用冰块对检测热偶的补偿导线进行低温保温。